派瑞股份请求一种逆阻型门极换流晶闸管RB-GCT器材波状终端结构及其制作办法专利波状P区终端结构正、反向阻断的电压功率比惯例负斜角别离高。

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派瑞股份请求一种逆阻型门极换流晶闸管RB-GCT器材波状终端结构及其制作办法专利波状P区终端结构正、反向阻断的电压功率比惯例负斜角别离高。

发布时间: 2024-11-07 来源:薪旺炭素

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  金融界2024年8月14日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,西安派瑞功率半导体变流技能股份有限公司请求一项名为“一种逆阻型门极换流晶闸管RB-GCT器材波状终端结构及其制作办法“,公开号CN4.7,请求日期为2024年6月。

  专利摘要显现,本发明供给了一种逆阻型门极换流晶闸管RB‑GCT器材波状终端结构及其制作办法,在有源区,从上往下顺次设置有阴极铝层和门极铝层、阴极N+区、阴极P区、阴极P‑区、N‑基区、阳极P‑区、阳极P+区和阳极铝层。在终端区,阳、阴极设置有钝化层、浅沟槽、终端P‑区及N‑基区。在终端边际处设置有N型截止环。本发明还公开了上述GCT终端结构的制作办法,先预堆积铝,然后在终端区选择性挖槽,腐蚀掉部分高浓度铝杂质,最终进行高温分散构成。本发明的波状P区终端结构,正、反向阻断的终端电压功率比惯例负斜角终端别离高了6.47%和5.26%,且阳、阴极终端与有源区一起构成,工艺简略,制作成本低,该波状P区终端结构广泛适用于深结类的电力半导体器材。

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